湖南华鑫晶造电气科技有限公司

射频电源

选择分类

HSP-5K

HSP-5K

类别:射频电源

产品名:HSP-5K

产品介绍:

主要用于半导体制造、等离子体清洗、太阳能电池、平板显示等行业及其它物理装备。

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产品技术规格

产品技术规格

电气规格
输入电压3×380V
±10% +PE
输入电压频率47 ~ 64 Hz
输入电流额定3*13A
输入过流保护25A 断路器
功效65% 全功率输出
功率因数0.90 全功率输出
输出频率13.56MHz, ±0.005%
输出功率5kW
功率调节范围50W~5kW
负载阻抗50Ω
通信接口RS485(MODBUS协议)/模拟用户口
物理规格
外形尺寸(长×宽×高)720mm×439mm×123mm
重量30Kg
安装方式19英寸机架
冷却方式水冷


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