应用于半导体设备离子注入机的离子引出、加速;电子束引出、加速;电子束焊机供电、电子束熔炼、高压电容充电、静电除尘、熔喷布静电驻极、等离子体及其它物理装备。
产品技术规格
电气规格 | |
输入电压 | 3×380V±10% +PE |
输入电压频率 | 47 ~ 64 Hz |
输入电流 | 额定20A |
输入过流保护 | 30A 断路器 |
最高输出电压 | 60KV(-60KV可选) |
最大输出电流 | 300mA |
最大输出功率 | 2KW |
工作温度 | 0-40℃ |
保护功能 | 过压、超温、限流, |
物理规格 | |
外形尺寸(长×宽×高) | 620mm×440mm×89mm |
重量 | 20Kg |
安装方式 | 19英寸机架 |
交流电源输入 | 220V±10% +PE |
用户通信连接器 | 控制信号方式:模拟(R485通讯可选) |
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