射频电源

Radio frequency (rf) power supply

HSP系列射频电源可提供1~5kW射频功率，拥有更强的功率和阻抗测量性能，能够在 13.56MHz 固定频率、50欧姆和非50欧姆负载下（电压驻波比 (VSWR) 超过3:1），带来稳定的功率输出和控制性能。能够快速的与等离子阻抗保持实时同步匹配，从而实现工艺的精确性、可重复性。